為了推動(dòng)科研成果向產(chǎn)品轉(zhuǎn)化,先導(dǎo)中心建立了第三代半導(dǎo)體功率器件工藝實(shí)驗(yàn)室,此實(shí)驗(yàn)室具備完整的功率器件制造產(chǎn)線,包含第三代半導(dǎo)體材料的外延生長、器件制備、器件封裝及測試。可進(jìn)行GaN、SiC材料外延生長工藝實(shí)驗(yàn),GaN器件、SiC器件、先進(jìn)功率器件的中試工藝實(shí)驗(yàn)及器件的測試,同時(shí)也可承擔(dān)高端器件設(shè)計(jì)、制備、測試以及可靠性評(píng)估。同時(shí)配備專業(yè)的設(shè)計(jì),制造,測試團(tuán)隊(duì)。
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